Nanoworld Services GmbH

Über den Betrieb

Die NanoWorld Services GmbH ist ein Unternehmen in Erlangen, das hochwertige Produkte auf Basis von Halbleiterherstellungsmethoden herstellt. Als Teil der NanoWorld Group bietet sie ihre MEMS-Fertigungsfähigkeiten und -erfahrungen Kunden an, die keine interne Expertise, Ausrüstung oder Kapazität haben, um ihre MEMS-Ideen zu realisieren. Die NanoWorld Services GmbH arbeitet eng mit dem Fraunhofer-Institut für integrierte Schaltungen und Gerätetechnologie in Erlangen zusammen und ist ein verlässlicher Partner im Bereich MEMS (Mikro-Elektro-Mechanische Systeme). Sie bietet ihren Kunden einen umfassenden Service in den Bereichen Auftragsfertigung, Auftragsentwicklung und Logistik. Dabei legt das Unternehmen großen Wert auf hohe Qualitätsstandards. Die umfangreiche Erfahrung der NanoWorld Services GmbH in der Produktion von Silizium-basierten Sensoren ermöglicht es ihnen, eine Produktionsumgebung zu schaffen, die direkt auf diese Elemente ausgerichtet ist. Dank des Zugangs zu modernster Ausstattung und Anlagen für die Waferfertigung in den Größen 100mm, 150mm und 200mm (teilweise) können sie ihren Kunden eine kostengünstige und hochproduktive Fertigungslösung anbieten. Die NanoWorld Services GmbH wurde am 1. August 2001 in Erlangen, Deutschland, von Jörg Diebel, dem CEO des Unternehmens, gegründet. Ihr Hauptgeschäftsfeld ist die Auftragsfertigung und Logistik für die NanoWorld AG im Bereich MEMS. Mit ihrem hochqualifizierten Team, das auf über 50 Jahre MEMS-Erfahrung zurückblicken kann, ist die NanoWorld Services GmbH ein zuverlässiger Partner für die Umsetzung von Ideen in Produkte. Durch ihre enge Zusammenarbeit mit dem renommierten Fraunhofer-Institut für integrierte Schaltungen und Gerätetechnologie in Erlangen hat die NanoWorld Services GmbH Zugang zu modernsten Einrichtungen für die Waferfertigung in den Größen 4 Zoll und 6 Zoll. Dies ermöglicht es ihnen, ihren Kunden eine Vielzahl von maßgeschneiderten MEMS-Lösungen anzubieten. Zu den angebotenen Leistungen der NanoWorld Services GmbH gehören unter anderem: - Herstellung von 3D-Strukturen mit hoher Aspektverhältnis für Mikrooptik oder -fluidik - Herstellung verschiedener Metallelektroden mit Größen bis zu 100 nm - Resist-Struktur am Boden einer V-Nut (Tiefe ~280 µm) - Gitterstrukturen zur Kalibrierung von Messwerkzeugen (SEM, AFM) - Herstellung von Cantilevern aus Silizium oder Nitrid für verschiedene Sensoranwendungen - Nachweis der Biegung durch den Einsatz des magnetostriktiven Effekts (NiFe oder NiCo) - Herstellung von Sonden aus verschiedenen Materialien für Rasterkraftmikroskope - Herstellung von dünnen Siliziummembranen mit Löchern bis zu 70 nm Durchmesser Die NanoWorld Services GmbH verfügt über Zugang zu einer Vielzahl von Fertigungstechnologien, die ihren Kunden angeboten werden können. Ihre Prozessingenieure haben umfangreiche Erfahrung in der Einrichtung und Herstellung von maßgeschneiderten MEMS-Lösungen. In Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer-Institut für integrierte Schaltungen und Gerätetechnologie und der Universität Erlangen-Nürnberg stehen der NanoWorld Services GmbH verschiedene Ein-Schritt-Verarbeitungswerkzeuge zur Verfügung. Sie arbeiten mit Wafern aus Silizium, SOI, geschmolzenem Quarz und Glas in der Größe 100mm. Die NanoWorld Services GmbH ist ein vertrauenswürdiger Partner für Kunden, die hochwertige Produkte auf Basis von Halbleiterherstellungsmethoden herstellen möchten. Mit ihrer Erfahrung, ihrem Fachwissen und ihrer Fähigkeit zur Zusammenarbeit ist das Unternehmen in der Lage, Kunden dabei zu unterstützen, ihre MEMS-Ideen in erfolgreiche Produkte umzusetzen.

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